Diese Strahlführungskomponenten auf Silizium-Basis reflektieren mehrere Wellenlängen mit hoher Effizienz

D80-001

Pilotlaser werden bei Systemen mit nicht-sichtbaren CO₂- Bearbeitungslasern eingesetzt, um den Auftreffpunkt der Strahlung zu bestimmen. Die Strahlführung beider Laser ist gleich und das führt zu Problemen: Sind Strahlführungskomponenten nicht auf die eingesetzten Wellenlängen optimiert, so „verschlucken“ sie Licht. Bei Siliziumspiegeln war das Licht des Pilotlasers bisher fast nicht mehr sichtbar.

Eine neuartige Dualbandbeschichtung auf Siliziumträgern schafft nun Spiegel, die hohe Reflexionswerte für die Bearbeitungswellenlänge 10,6 µm bietet und gleichzeitig das Licht roter Pilotlaser mit hoher Effizienz reflektiert. Bei einem Einfallswinkel von AOI = 45° werden die folgenden Werte erreicht:

R (10,6 µm)	> 99,8%
R (600-700 nm)	> 90,0%

Ebenfalls bemerkenswert ist der geringe ­Phasenshift von ca. ±2° bei 10,6 µm.

Für Licht der Wellenlänge 10,6 µm werden neben Silizium- auch Kupferspiegel eingesetzt. Siliziumsubstrate haben jedoch entscheidende Vorteile: Im Gegensatz zu Kupferspiegeln sind sie deutlich leichter. Weiterhin haben Dualband-Silizium­spiegel eine beständigere Oberfläche - die beim ­Reinigen weniger schnell verkratzt als bei Standard - Siliziumspiegeln.

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Beschichtete Laseroptik

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