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Berührungslose Messung mit dem Weißlichtinterferometer

Photonics News 72

Wir kennen die Oberflächengenauigkeit der Substrate


D72-001

Um hochwertige Laseroptiken herstellen zu können benötigt man Substrate mit einer guten Formtreue und Politurqualität. Die Rauigkeit der Oberfläche sollte daher für Laseroptiken kontrolliert werden. Solche Messungen erfolgen bei Laser Components mit einem Weißlichtinterferometer.

Bei der Weißlichtinterferometrie handelt es sich um eine berührungslose optische Messmethode, welche die Interferenz von breitbandigem Licht ausnützt, um die 3-dimensionale Struktur der Oberfläche zu messen. Die Messgenauigkeit liegt dabei bei <0.1 nm für die vertikale Auflösung.

Alle bei uns im Haus gefertigten Linsen können, genau wie extern gefertigte Substrate, mit dieser neuen Technik kontrolliert werden. Für unsere Kunden bedeutet diese extra Qualitätskontrolle, dass sie sicher sein können, immer hochwertige Optiken geliefert zu bekommen.

Für Anwendungen in denen „superpolierte“ Optiken gebraucht werden, oder, falls anderweitig notwendig, kann eine entsprechende Dokumentation der Rauigkeit erstellt werden.
Eine typische Messung ist im Bild rechts gezeigt.

Im oberen Teil des Bildes sieht man die Oberfläche 2- bzw. 3-Dimensional als Höhenverlauf dargestellt. Die Ergebnisse dieser Auswertung sind im Anschluss tabellarisch zusammengefasst. Dabei gibt der Wert PV den maximalen Wert für den Höhenunterschied an. Der Mikro-Rauigkeit wird der RMS-Wert zugeordnet. Ein Höhenverlauf als Schnitt ist ferner in der Mitte zu sehen.

Die besagten Messungen werden bei uns stichprobenartig bei allen Substraten durchgeführt. Bei speziellen Anwendungen ist eine solche Messung immer vorgesehen und auf Kundenwunsch kann eine Dokumentation erfolgen.
Mit der Vermessung der Mikrorauigkeit der Substratoberflächen stellen wir sicher, dass die Qualität der von uns verwendeten Optiken konstant hochwertig ist.

Bei Fragen zu diesem Thema stehen wir Ihnen zur Beratung zur Verfügung. Wir freuen uns auch sehr auf Ihre Anregungen und Wünsche zu dieser Materie und Ihre Rückmeldung.


Datenblatt:

 Laser Optics 5.9 M

Weitere Produktinformationen:
Unbeschichtete Substrate

Hersteller:
LASER COMPONENTS Germany / Laseroptik

Kontakt:

Ansprechpartner:    Rainer Franke
Firma:    Laser Components Germany GmbH
Adresse:    Werner-von-Siemens-Str. 15
PLZ / Ort:    82140 Olching
Telefon:    +49 (0) 8142 2864-39
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E-Mail:    rainer.franke@lasercomponents.com
 

Messung von Substraten mit dem Weißlichtinterferometer

Messung mit dem Weißlichtinterferometer

Messung der Oberflächengenauigkeit von Substraten

Messprotokoll zur Rauigkeit für ein Substrat

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