Teilreflektierende Beschichtungen werden für Substrate verwendet, die als Auskoppelspiegel oder Strahlteiler in Lasersystemen genutzt werden.

Dielektrische Beschichtungen im High-Power Bereich werden standardmäßig für den Wellenlängenbereich von 193 nm bis 5 µm beschichtet. Bei den cw-/fs-Coatings liegt der Wellenlängenbereich bei 450 nm bis 2 µm.

Auskoppelspiegel finden ihre Hauptanwendung im Resonator und dienen zur Auskopplung des Laserstrahls. Durch geeignete Wahl des Reflexionsgrades wird die Güte des Laserresonators optimiert. Auskoppelspiegel werden häufig auch zur Abschwächung verwendet. Die Rückseite von Auskoppelspiegeln wird üblicherweise mit einer AR-Beschichtung versehen, um die Verluste des transmittierten Strahls zu minimieren.

Auskoppelspiegel für Excimer-Laser

Für Spiegel, die außerhalb des Resonators von Excimer-Lasern eingesetzt werden, wird die Standardbeschichtung meist auf Quarzsubstraten aufgebracht. Werden Spiegel im Resonator verwendet, so müssen die Beschichtungen fluor- oder chlorfest sein, da sie dem aggressiven Lasergas ausgesetzt sind. In diesem Fall ist bei der Materialwahl des Substrates darauf zu achten, CaF₂ oder MgF₂ zu verwenden.

Auskoppelspiegel für Festkörperlaser

Auskoppelspiegel für 1064 nm werden hauptsächlich auf BK7-Substraten gefertigt. Bei Systemen mit sehr hohen Leistungsdichten können die Beschichtungen ebenfalls auf Quarzglas angeboten werden.

Die Auskoppelspiegel für 2940 nm werden in der Regel auf Saphirsubstraten hergestellt.

Auskoppelspiegel für cw-/fs-Spiegel

Diese Beschichtungen werden hauptsächlich auf Quarz-Substraten gefertigt, da Quarz eine geringere Dispersion aufweist als BK7. Ist die Dispersion für die Anwendung unkritisch, so können auch BK7-Substrate verwendet werden. Optional kann die Rückseite mit einer Antireflexbeschichtung versehen werden, um Verluste zu vermeiden.

Diese Optiken werden hauptsächlich in der externen Strahlführung eingesetzt, um den Strahl in definierte Anteile zu separieren. Bei den Standardbeschichtungen wird der Reflexionsgrad normalerweise ausschließlich für eine Polarisation garantiert. Auf Wunsch können weitere Spezifikationen realisiert werden. Die Rückseite von Strahlteilern wird üblicherweise mit einer AR-Beschichtung versehen, um Verluste des transmittierten Strahls zu minimieren.

Strahlteiler Spiegel

Strahlteiler-Spiegel werden sowohl für High-Power Laser als auch für cw-/fs-Laser angeboten. Als Substrat wird hauptsächlich Quarz eingesetzt. Für 193 nm kommen VUV-Quarze zum Einsatz, bei cw-/fs-Lasern können teilweise auch BK7-Substrate ausreichen. Neu sind polarisationsunabhängige Strahlteiler.

Variable Strahlteiler

Für anspruchsvolle Anwendungen werden bei der Strahltrennung Toleranzen von weniger als +/- 1% benötigt. Weiterhin gibt es Anwendungen, bei denen man in jedem Strahlengang nach der Justage unterschiedliche Verluste erhält. Für solche Fälle wurde ein Strahlteiler mit aktiver Nachstellung entwickelt. Der variable Strahlteiler hat einen über die Position unterschiedlichen Reflexionsverlauf. Durch das Verschieben des Strahlteilers erhält man positionsabhängig einen Reflexionswert zwischen typisch 45% und 55%. Die Werte lassen sich kontinuierlich einstellen.