Weißlichtinterferometer Messplatz
Messung der Oberflächenrauigkeit von Substraten
Um hochwertige Laseroptiken herstellen zu können braucht man Substrate mit einer guten Formtreue und Politurqualität. Erst durch Messmöglichkeiten, ist es möglich, Laseroptiken genau zu spezifizieren, damit der Kunde sich auf gleichbleibende Qualität verlassen kann.
Qualitätsnachweis von Laseroptiken
Beyond Borders
Für Laseranwendungen hat sich dabei eine Formtreue von Lambda/10 als sinnvoll erwiesen, wobei die Bezugswellenlänge 546 nm verwendet wird. In der Regel wird ferner eine P4 Politur (Feinstpolitur) mit einer Sauberkeit 5/4 x 0.025 für Durchmesser 1.0“ Substrate verwendet. Die Mikrorauigkeit der Oberfläche bestimmt ferner welche Streuverluste bei Spiegeln oder anderen Optiken auftauchen.
Für Spiegel mit sehr hohen Reflexionsgraden von R > 99.95 % oder höher müssen die Verluste durch Streuung und Absorption entsprechend gering sein. Für solche Anwendungen werden in der Regel sogenannte „superpolierte“ Substrate verwendet. Diese zeichnen sich durch eine Mikro-Rauigkeit (RMS Wert) im Bereich < 0.1 nm aus. Aber auch bei anderen Laseranwendungen ist es wichtig die Rauigkeit der Oberfläche zu kontrollieren.
Weißlicht-Interferometrie. Für solche Messungen steht ein Weißlichtinterferometer zur Verfügung. Bei der Weißlicht-interferometrie handelt es sich um eine berührungslose optische Messmethode, welche die Interferenz von breitbandigem Licht ausnützt um die 3dimensionale Struktur der Oberfläche zu messen. Die Messgenauigkeit liegt dabei bei < 0.1 nm für die vertikale Auflösung.
Qualitätskontrolle. Alle im Haus bei LASER COMPONENTS gefertigten Linsen können, genau wie extern gefertigte Substrate, mit dieser Technik kontrolliert werden. Für unsere Kunden bedeutet diese extra Qualitätskontrolle, dass sie sicher sein können immer hochwertige Optiken geliefert zu bekommen.
Für Anwendungen in denen „superpolierte“ Optiken gebraucht werden und falls anderweitig notwendig kann eine entsprechende Dokumentation der Rauigkeit erstellt werden.
Exemplarisches Messprotokoll
Bestimmung der Rauigkeit eines Substrates
Im oberen Teil des des Messprotokolls sieht man die Substrat-Oberfläche 2- bzw. 3-dimensional als Höhenverlauf dargestellt. Die Ergebnisse dieser Auswertung sind im Anschluss tabellarisch zusammengefasst. Dabei gibt der Wert PV den maximalen Wert für den Höhenunterschied an. Der Mikro-Rauigkeit wird der RMS-Wert zugeordnet. Ein Höhenverlauf als Schnitt ist ferner in der Mitte zu sehen.
Die besagten Messungen werden bei uns stichprobenartig bei allen Substraten durchgeführt. Bei speziellen Anwendungen ist eine solche Messung immer vorgesehen und auf Kundenwunsch kann eine Dokumentation erfolgen.
Mit der Vermessung der Mikrorauigkeit der Substratoberflächen stellen wir sicher, dass die Qualität der von uns verwendeten Optiken konstant und sehr hochwertig ist.
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