Weißlicht-interferometrie für Zuverlässige Laseroptiken

Warum ist die Messung der Oberflächenrauigkeit wichtig?

Bei der Herstellung hochwertiger Laseroptiken werden sowohl die Formtreue als auch die Politurqualität der Substrate kontrolliert. Nur durch präzise Messtechnik lassen sich die geforderten Spezifikationen zuverlässig nachweisen.

Für viele Laseranwendungen hat sich eine Formtreue von λ/10 bei einer Bezugswellenlänge von 546 nm als Standard für die Laseroptik-Substrate etabliert. Meist wird dabei eine P4-Politur (Feinstpolitur) mit einer Sauberkeit bei 5/4x0,025 für Durchmesser 1,0“ Substraten verwendet. 

Die Mikrorauigkeit der Oberfläche bestimmt die Streuverluste einer Optik und damit deren Effizienz. Je glatter die Oberfläche, desto geringer sind Streuung und Absorption des Laserlichts.

Superpolierte Optiken für Spiegel mit sehr hohem Reflexionsgrad
Bei hochreflektierenden Laserspiegeln mit Reflexionsgraden von über 99,95 % (R>99,95%) müssen selbst kleinste Verluste vermieden werden. Deshalb werden hierfür sogenannte „superpolierte“ Substrate verwendet.

Diese Oberflächen erreichen Mikro-Rauigkeiten von unter 0,1 nm (RMS < 0.1 nm) und ermöglichen:

• minimale Streuverluste
• maximale optische Effizienz
• stabile Leistung bei Hochleistungs- und Präzisionslasern
• reproduzierbare Ergebnisse in anspruchsvollen Anwendungen

Die zuverlässige Überprüfung dieser extrem glatten Oberflächen erfordert hochauflösende Messtechnik.