Diese posisitionsempfindlichen Silizium-Detektoren setzten sich auch einzelnen Photodioden-Segmenten zusammen: Quadrantendioden aus vier Elementen, Differenzialdioden aus zwei Elementen. Die einzelnen Si-Elemente sind durch einen sehr kleinen Abstand von einigen 10 µm voneinander getrennt sind.

Anwendungsgebiete der Si-PSDs

Aufgrund der kleinen Flächen der einzelnen Segmente eignen sich Differentialdioden für die hochauflösende und schnelle Positionsmessung entlang einer Achse.

Quadrantendioden messen die Positionierung entlang zweier Achsen. Die Positionsmessung erfolgt durch den Vergleich der Photodiodenströme der einzelnen Photodiodensegmente.